একটি ভ্যাকুয়াম পাম্প যা গ্যাসকে ঘনীভূত করতে একটি নিম্ন তাপমাত্রার পৃষ্ঠ ব্যবহার করে, এটি একটি কনডেনসেট পাম্প নামেও পরিচিত। ক্রায়োপাম্প হল ভ্যাকুয়াম পাম্প যার সর্বনিম্ন চূড়ান্ত চাপ এবং সর্বোচ্চ পাম্পিং হার একটি পরিষ্কার ভ্যাকুয়াম পাওয়ার জন্য। এটি ব্যাপকভাবে সেমিকন্ডাক্টর এবং ইন্টিগ্রেটেড সার্কিটের গবেষণা এবং উত্পাদন, সেইসাথে আণবিক মরীচি গবেষণা, ভ্যাকুয়াম আবরণ সরঞ্জাম, ভ্যাকুয়াম পৃষ্ঠ বিশ্লেষণ যন্ত্র, আয়ন ইমপ্লান্টার এবং স্পেস সিমুলেশনে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। ডিভাইস, ইত্যাদি
পাম্পিং নীতি ক্রায়োপাম্প একটি ঠান্ডা প্লেট দিয়ে সজ্জিত থাকে যা তরল হিলিয়াম বা একটি রেফ্রিজারেটরের দ্বারা খুব কম তাপমাত্রায় ঠান্ডা হয়। এটি গ্যাসকে ঘনীভূত করে এবং পাম্পের চূড়ান্ত চাপের নিচে কনডেনসেটের বাষ্পের চাপ রাখে, যাতে পাম্পিং প্রভাব অর্জন করা যায়। নিম্ন তাপমাত্রার পাম্পিং এর প্রধান কাজ হল নিম্ন তাপমাত্রা ঘনীভবন, নিম্ন তাপমাত্রা শোষণ এবং নিম্ন তাপমাত্রা ক্যাপচার। ① নিম্ন তাপমাত্রার ঘনীভবন: গ্যাসের অণুগুলি ঠান্ডা প্লেটের পৃষ্ঠে বা ঘনীভূত গ্যাস স্তরে ঘনীভূত হয় এবং ভারসাম্যের চাপ মূলত ঘনীভূত বাষ্পের চাপের সমান। বায়ু পাম্প করার সময়, ঠান্ডা প্লেটের তাপমাত্রা 25K এর চেয়ে কম হতে হবে; হাইড্রোজেন পাম্প করার সময়, ঠান্ডা প্লেটের তাপমাত্রা কম হয়। নিম্ন-তাপমাত্রার ঘনীভবন এবং নিষ্কাশন ঘনীভবন স্তরের বেধ প্রায় 10 মিমি পর্যন্ত পৌঁছাতে পারে। ②নিম্ন তাপমাত্রার শোষণ: গ্যাসের অণুগুলি একটি মনোলেয়ার (10-8 সেমি) পুরুত্বের সাথে ঠান্ডা প্লেটে প্রলেপযুক্ত শোষণকারীর পৃষ্ঠে শোষিত হয়। শোষণের জন্য ভারসাম্যের চাপ একই তাপমাত্রায় বাষ্পের চাপের তুলনায় অনেক কম। হাইড্রোজেনের বাষ্পের চাপ 20K এ বায়ুমণ্ডলীয় চাপের সমান হলে, 20K সহ সক্রিয় কার্বন যখন হাইড্রোজেন শোষণ করে তখন শোষণের ভারসাম্যের চাপ 10-8 Pa-এর চেয়ে কম হয়। এটি উচ্চ তাপমাত্রায় ক্রায়োজেনিক শোষণ দ্বারা পাম্পিং করা সম্ভব করে তোলে। ③Cryogenic trapping: গ্যাসের অণুগুলি যেগুলি নিষ্কাশন তাপমাত্রায় ঘনীভূত করা যায় না সেগুলিকে সমাহিত করা হয় এবং ঘনীভূত গ্যাসের ক্রমবর্ধমান স্তর দ্বারা শোষণ করা হয়।
সাধারণভাবে বলতে গেলে, পাম্পের চূড়ান্ত চাপ হল ঠান্ডা প্লেটের তাপমাত্রায় ঘনীভূত গ্যাসের বাষ্পের চাপ। যখন তাপমাত্রা 120K হয়, তখন জলের বাষ্পের চাপ ইতিমধ্যেই 10-8 Pa-এর চেয়ে কম হয়৷ তাপমাত্রা যখন 20K হয়, হিলিয়াম, নিয়ন এবং হাইড্রোজেন বাদে, অন্যান্য গ্যাসের বাষ্পের চাপও {{3} এর চেয়ে কম হয়৷ } Pa. যাইহোক, পাম্প করা পাত্র এবং ক্রায়োজেনিক কোল্ড প্লেটের বিভিন্ন তাপমাত্রার কারণে, পাম্পের চূড়ান্ত চাপ কনডেনসেটের বাষ্পের চাপের চেয়ে বেশি। কক্ষ তাপমাত্রায় একটি পাত্রের জন্য, 20K এর একটি ক্রায়োপ্যানেল সহ, পাম্পের চূড়ান্ত চাপ ঘনীভূত বাষ্পের চাপের প্রায় 4 গুণ।